LED-Wafer-Technologie epitaktischen
Datum:2011-06-07 17:11
Staat:ungeloest
Frage:admin
um, es Schaden in Silizium neu Korrosion.
Vorpolieren: Mit einem Schleifmittel zu entfernen beschdigte Schicht, die generell in der Entfernung 10 ~ 20um. Vorpolieren flssige Abflle erzeugt hier.
Feinschliff: Schleifmittel auf die Verwendung von Mikro-Rauhigkeit der Silizium-Oberflche zu verbessern, die allgemeine Entfernung 1 um, unterhalb derer die Ebenheit von Silizium-Wafern zu hoch. Feinschliff flssige Abflle erzeugt.
Test: Prfen Sie, ob die Anforderungen von Silizium, die nicht den neuen Po
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