AMEC ausgestellt für 22-nm-Generation und unter Chip-Verarbeitung Ätzanlagen
Datum:2011-07-12 17:24
Staat:ungeloest
Frage:admin
die Entwicklung der besten Materialbearbeitung, reduziert den Verschlei, minimiert die Anzahl der Teilchen von Verunreinigungen;
8, Widerstand beheizten Elektroden direkt auf der Regelungs-Verfahren zur kontinuierlichen Chip eine genaue und schnelle Temperaturregelung sorgen;
9 knnen zwei Arten von Reaktionen der Reaktor-Cluster-Architektur, ausbaubar mit bis zu sechs Single-Chip-Verarbeitung Reaktion Einheiten, die eine kleinere Flche eine hohe Leistung zu erhalten;
10, ermglicht die mod
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