AMEC ausgestellt für 22-nm-Generation und unter Chip-Verarbeitung Ätzanlagen
Datum:2011-07-12 17:24
Staat:ungeloest
Frage:admin
2-Switch-Frequenz zu Primo AD-RIE Verarbeitung von einer breiteren Palette von einzigartigen und symmetrische Verteilung der HF-Eingang, um die Einheitlichkeit der Plasmadichteverteilung, Drei-Zonen-Gasverteilung und verbesserte Doppel abgestimmt Gas tzen Einheitlichkeit und Abstimmbarkeit zu verbessern, erhht Zwei-Zonen-Khlung elektrostatischen Chuck die Chip-Temperatur verstellbar und stark verbesserte Wafer-Etch-Uniformitt.
System Merkmale und Vorteile:
1, die entkoppelte reaktives Ionen-
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