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Experten erklären: Plasma etch Technologie der Vorbereitung von high-Brightness LED
Datum:2011-11-01 14:53
Staat:ungeloest
Frage:liyatong
chen HBLED die Licht-Extraktion-Funktionen verbessern. Extreme Leistung wie in Abbildung 3 gezeigt, wurde 600nm Korrosion getzten 4 Mikrometer tief, hohes Aspektverhltnis Strukturen mehr als 6:1 aktivieren. Vertikale Profile von die Herausforderung hier ist Korrosion wie um sicherzustellen, dass die optischen Eigenschaften der Photonische Kristalle.


  7, Ausrstung


  Im Hinblick auf das Erfordernis der hohen tzrate und Schaden, die Industrie entwickelte mehrere high-Density-Plasmaquellen:
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