Experten erklären: Plasma etch Technologie der Vorbereitung von high-Brightness LED
Datum:2011-11-01 14:53
Staat:ungeloest
Frage:liyatong
Induktiv gekoppelte Plasma (ICP), Transformator gekoppelt Plasma (TCP), high-Density Plasma (HDP). Alle Technologie ist eine feste Beispiel-getrieben, unabhngige Plasmaquelle fr hohen Plasmadichte, ohne Erhhung der Stichprobe der DC-Bias. DC-Bias hat sich gezeigt, zu erhhten Plasma Schaden empfindliche Oberflche, so dass dies ein wesentlicher Systemmerkmale.
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