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Experten erklären: Plasma etch Technologie der Vorbereitung von high-Brightness LED
Datum:2011-11-01 14:53
Staat:ungeloest
Frage:liyatong
der Probe zu bertragen, um eine Abkhlung von der Plasma-Elektrode wissen mssen. Helium Khlung ist die Taste auf der Rckseite, zur gleichen Zeit zu lernen, wie zu jeder Wafer Deao effektive Khlung, um Erfolg sicherzustellen. Diese Technik der Losgren von 20 * 2 bis zu 43 * 2 Zoll in Zentimeter, Radierung Preise zwischen 50nm / und 100 nm / Rate hngt von den Anforderungen zu PR und PSS-Maske-Form.


  3, GaN etch


  GaN chemische Stabilitt und Strke, seine Schmelzpunkt von 2.500 und Gao Jian-
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