Einführung der LED epitaktischen Wafern von Wissen
Datum:2011-11-03 13:50
Staat:ungeloest
Frage:ergongda
Substrate.
Bewertung von Trgermaterial muss folgenden Faktoren bercksichtigt werden:
1. Struktur Substrat und epitaktischen Film Match: Epitaxie und Substrat Materialien Kristallstruktur identische oder hnliche, kleine Gitter Konstante Diskrepanz, Kristallinitt, geringe Fehler Dichte;
2. Substrat mit epitaktischen Film Koeffizient der thermischen Ausdehnung bereinstimmenden: passende thermischer Ausdehnungskoeffizient ist sehr wichtig, epitaktischen Film und Substrat Materialie
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