Austausch LED Wafer Wachstum
Datum:2011-11-11 17:50
Staat:ungeloest
Frage:zenghuiping
und Lei MBE Kristall Wachstum Geschwindigkeit zu schnell, also jetzt die meisten Produktion von MOCVD.
Seinen Prozess wird zuerst GaAs ausgekleidet Ende in der organischen Chemie Dampf Phase Ablagerung Ofen teuer (Jane MOCVD und sagte Erweiterung Ofen), dann bergeben Sie an III und II Familie Metalle Alkyl Verbindungen (Methyl- oder b der Eigenschaft) gedmpft Gas und nichtmetallischen (V oder VI Familie Elemente)-Hydrid (oder Alkyl-Eigenschaft) gas, in der Hochtemperatur Xia, aufgetretene
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