Plasma Radierung von High-Brightness LED-Programm
Datum:2011-11-29 16:50
Staat:ungeloest
Frage:ningcuidi
t, um sicherzustellen, dass die optischen Eigenschaften der Photonische Kristalle zu halten.
7, Ausrstung
Im Hinblick auf das Erfordernis der hohen tzrate und Schaden, die Industrie entwickelte mehrere high-Density Plasmaquellen: Induktiv gekoppelte Plasma (ICP), Transformator gekoppelt Plasma (TCP), high-Density Plasma (HDP). Alle Technologie bietet eine feste Beispiel-getrieben, unabhngige Plasmaquelle fr hohen Plasmadichte, ohne Erhhung der Stichprobe der DC-Bias. DC-Bias erweist
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