Monokristallinem Silizium Produktionsprozess
Datum:2011-05-24 15:55
Staat:ungeloest
Frage:admin
-Gas, Si + 3 HCl SiHC13 + H2. Als SiHC13 ist eine Flssigkeit unter 30 ℃, so ist es einfach und Wasserstoff-Trennung. Dann wird durch Destillation
SiHC13 aus anderen Chloride abgetrennt, nach der Destillation SiHCl3 kann die Verunreinigung Ebene weniger als 10-10% des elektronischen Silizium Anforderungen. Nach der Reinigung grundstzlich SiHC13 durch CVD von Polysilizium Ingots hergestellt.
Gezeichnet mit CZ Kristall-Methode (orange Katastrophe gezogen) und dem Zonenschmelzen von zwei Kindern.
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